igus® systèmes d'alimentation en énergie dans la salle blanche de l'entreprise Brooks

Des composants pour chaque salle blanche qui améliorent la technologie et réduisent les coûts

Profil :

Industrie: salle blanche / semi-conducteur
Application: Équipement de traitement des plaquettes de 300 mm dans la fabrication de semi-conducteurs.
Produit: fermeture éclair e-chian®
Exigences: Air propre dans la production de sa charge fixe.

Problème

L'entreprise Brooks a besoin d'un air particulièrement pur pour la production de sa charge fixe. Ceci est dû au domaine d'application très importante de l'interface de chargement pour l'équipement de traitement des plaquettes de 300 mm dans la fabrication de semi-conducteurs.

Comme les plaquettes à traiter sont exposées à l'environnement pendant le chargement, la capacité de salle blanche du système d'alimentation en énergie utilisé est, entre autres, très importante.

Solution

Les essais effectués par Brooks ont montré que l'usure du système d'alimentation en énergie igus® n'a pas été déterminée, même dans le cadre d'un essai à long terme. Une chaîne Zipper e® est utilisée en position d'installation suspendue. Avec une distance de déplacement de 290 mm, un nombre de 50 à 60 cycles par heure est atteint, principalement dans le cadre d'un fonctionnement en trois équipes.

Autre avantage :
Le système de fermeture éclair breveté permet de remplir les câbles d'énergie à la vitesse de l'éclair et d'assurer une protection supplémentaire. Cela augmente la sécurité de fonctionnement et les temps d'attente.

Vers la page du produit Zipper e-chain®

Produits sélectionnés pour l'industrie des salles blanches

Système de guidage des câbles plats

Adapté aux salles blanches IPA ISO Classe 1
Conception modulaire et compacte
Les câbles peuvent être remplacés en quelques minutes
En option, structure toronnée coordonnée CFCLEAN pour une grande fiabilité

e-skin plat

Tubes ondulés en deux parties

Convient pour les salles blanches conformément à la norme IPA ISO Classe 1
Deux pièces, composées d'une coque supérieure et d'une coque inférieure
Assemblage rapide grâce à la fermeture éclair "" fonction d'ouverture
Pour des applications rapides, courtes et sans soutien

tubes ondulés e-skin

e-chain pour une dynamique élevée

Salle blanche IPA ISO Classe 1
Très silencieux : 32dB(A) à 1m/s
Barres transversales ouvrables des deux côtés
Intérieur lisse et adapté aux câbles
Déblocage de la précontrainte en tournant le maillon intérieur

chaîne électronique E6.1

Exemples d'applications en salle blanche

Industrie : Production de puces/Semiconducteur

e-skin flat utilisé dans un système linéaire avec des paliers à air

Résultat : En tant que couche quadruple, les câbles TPE en PVC & d'igus® assurent l'alimentation en énergie fiable d'un système linéaire à paliers à air.

Exemple d'application en salle blanche pour les semi-conducteurs

Industrie : Fabrication de semi-conducteurs

Systèmes e-chain® dans la fabrication de semi-conducteurs

Résultat : Le système e-chain®à fermeture éclair breveté répond à la distance de déplacement requise d'environ 290 mm et permet d'atteindre des nombres de cycles de 50 à 60 par heure, généralement en trois équipes.

Industrie : Production de puces/Semiconducteur

Manipulation de plaquettes de silicium

Résultat : Avec la chaîne électronique® - E6, l'approvisionnement en énergie pour la manipulation des plaquettes dans la production de puces, avec des taux d'accélération allant jusqu'à 4m/s2 et des vitesses allant jusqu'à 6m/s, ne pose aucun problème.

Utilisation dans une unité de laboratoire pour la manipulation de liquides.

Industrie : Technologie médicale

drylin® TR écrous à filets à haute hélice pour les équipements de laboratoire

Résultat : les écrous à filets à haute hélice drylin® TR ont été utilisés dans des équipements de laboratoire pour la manipulation de fluides. L'avantage pour la salle blanche est leur faible coefficient de frottement, leur efficacité accrue et le fait qu'aucune lubrification n'est nécessaire, ce qui évite la contamination.